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紫外光刻机
紫外光刻机

联系人:   徐训岭

地    址:   卫津路校区26C-603

电    话:   --

原子层沉积系统
原子层沉积系统

联系人:   徐训岭

地    址:   卫津路校区无

电    话:   --

中红外椭偏仪
中红外椭偏仪

联系人:   徐训岭

地    址:   卫津路校区第26教学楼精仪学院李桂芳教授实验室26-C-60326楼C603

电    话:   --

等离子增强化学气相沉积系统
等离子增强化学气相沉积系统

联系人:   徐训岭

地    址:   卫津路校区第26教学楼精仪学院李桂芳教授实验室26-C-60326楼C603

电    话:   --

RIE干法刻蚀机
RIE干法刻蚀机

联系人:   徐训岭

地    址:   卫津路校区第26教学楼精仪学院李桂芳教授实验室26-C-60326楼C603

电    话:   --

快速气体分析仪
快速气体分析仪

联系人:  段学欣

地    址:   卫津路校区第一科学楼精仪学院MEMS实验室北洋科学楼-312北洋科学楼312

电    话:   --

拉曼光谱仪
拉曼光谱仪

联系人:  徐训岭

地    址:   卫津路校区第4教学楼 211

电    话:   13652087842

化学机械抛光
化学机械抛光

联系人:  张林

地    址:   卫津路校区第26教学楼精仪学院李桂芳教授实验室26-C-60326楼C603

电    话:   15948300527

RIE干法刻蚀机
RIE干法刻蚀机

联系人:  张林

地    址:   卫津路校区第26教学楼精仪学院李桂芳教授实验室26-C-60326楼C603

电    话:   18602688132

热蒸镀
热蒸镀

联系人:  张林

地    址:   卫津路校区第26教学楼精仪学院李桂芳教授实验室26-C-60326教学楼C603

电    话:   15822539680

低压化学气相沉积
低压化学气相沉积

联系人:  张林

地    址:   卫津路校区第26教学楼精仪学院李桂芳教授实验室26-C-60326楼C603

电    话:   13102102923

纳米材料沉积喷墨打印系统
纳米材料沉积喷墨打印系统

联系人:  庞慰

地    址:   卫津路校区综合实验楼综合实验楼108 108

电    话:   --27400876

纳米级线扫加工设备
纳米级线扫加工设备

联系人:  庞慰

地    址:   卫津路校区第一阶梯教室(东)东阶梯二楼

电    话:   13021399723

MEMS异质集成加工设备
MEMS异质集成加工设备

联系人:  庞慰

地    址:   卫津路校区第一阶梯教室(东)东阶梯二楼

电    话:   27400876

采集模块
采集模块

联系人:  张林

地    址:   卫津路校区第四教学楼201 201

电    话:   13102102923

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