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仪器详情
等离子增强化学气相沉积系统
仪器编号
2017017014
规格
生产厂家
Oxford Instruments
型号
PlasmaPro 100
制造国家
中国
分类号
放置地点
卫津路校区第26教学楼精仪学院李桂芳教授实验室26-C-60326楼C603
出厂日期
2021-10-21
购置日期
2021-10-21
入网日期
2021-10-21
主要规格及技术指标
主要用于4英寸基底上SiO2\Si3N4\SiC\a-Si薄膜沉积。
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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