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仪器详情
紫外光刻机
仪器编号
2015008776
规格
生产厂家
suss
型号
SUSS MGB4
制造国家
德国
分类号
放置地点
卫津路校区26C-603
出厂日期
2021-10-21
购置日期
2021-10-21
入网日期
2021-10-21
主要规格及技术指标
高精度对准平台，X = ±40mm ，Y=+30mm, -50mm，Θ = ± 4°，曝光：300W，衬底大小：10mm x 10mm 到 20mm x 20mm
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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