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仪器详情
纳米级线扫加工设备
仪器编号
2021023202
规格
NanoFrazor Explore
生产厂家
HEIDELBERG INSTRUMENTS
型号
NanoFrazor Explore
制造国家
德国
分类号
120304
放置地点
卫津路校区第一阶梯教室(东)东阶梯二楼
出厂日期
2022-07-12
购置日期
2022-07-12
入网日期
2022-07-12
主要规格及技术指标
激光器波段： 405nm 激光能量： 300mW以上，可接受最大基板尺寸 不小于9 x 9英寸，有效光刻面积： 不小于200 x 200mm2，可接受基材厚度： 1~6毫米或更大
主要功能及特色
用于制作光刻掩膜
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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