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RIE干法刻蚀机
RIE干法刻蚀机
仪器编号
2017019092
规格
生产厂家
Oxford Instruments
型号
PlasmaPro 100
制造国家
英国
分类号
放置地点
卫津路校区第26教学楼精仪学院李桂芳教授实验室26-C-60326楼C603
出厂日期
2021-10-21
购置日期
2021-10-21
入网日期
2021-10-21

主要规格及技术指标

刻蚀材料:硅锗,氧化铝,氮化硅;加工尺寸:小于等于200 mm(8英寸片);刻蚀宽度:2 um

主要功能及特色

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期