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仪器详情
原子层沉积系统
仪器编号
2015012480
规格
生产厂家
芬兰倍耐克
型号
无
制造国家
芬兰
分类号
放置地点
卫津路校区无
出厂日期
2021-10-21
购置日期
2021-10-21
入网日期
2021-10-21
主要规格及技术指标
6个独立前躯体源，薄膜不均匀度小于2%，深宽比1000:1
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
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