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仪器详情
RIE干法刻蚀机
仪器编号
2017016691
规格
PlasmaPro 80
生产厂家
Oxford Instruments
型号
PlasmaPro 80
制造国家
英国
分类号
120302
放置地点
卫津路校区第26教学楼精仪学院李桂芳教授实验室26-C-60326楼C603
出厂日期
2022-07-12
购置日期
2022-07-12
入网日期
2022-07-12
主要规格及技术指标
1 用于6英寸SiO2，SiNx等材料刻蚀；2 RF射频功率：不小于300W； 3 RF射频频率：13.56MHz。
主要功能及特色
刻蚀设备
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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