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仪器详情
低压化学气相沉积
仪器编号
2016017866
规格
Mini-TYTAN 3600
生产厂家
Tystar
型号
Mini-TYTAN 3600
制造国家
美国
分类号
120302
放置地点
卫津路校区第26教学楼精仪学院李桂芳教授实验室26-C-60326楼C603
出厂日期
2022-07-12
购置日期
2022-07-12
入网日期
2022-07-12
主要规格及技术指标
可沉积SIC，Ge/Si，以及Si3N4薄膜，薄膜均匀性要求不大于3%
主要功能及特色
薄膜材料的化学沉积
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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