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光学频率梳

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磁控溅射台

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扫描离子电导显微镜系统

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联系人: --

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全光纤耦合太赫兹光谱仪

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联系人: 李健

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纳米压痕仪

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硅烷化试剂镀膜仪

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联系人: 段学欣

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电话: 13021399723

键合机

联系人: 史伟

地址: 卫津路校区26楼C区213室

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微波矢量网络分析仪

微波矢量网络分析仪

联系人: 段发阶

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光刻机

联系人: 韩家广

地址: 卫津路校区北洋科学楼112

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等离子清洗机

等离子清洗机

联系人: 韩家广

地址: 卫津路校区北洋科学楼112

电话: --13820728661

划片机

联系人: 韩家广

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表面精密测量表征系统

表面精密测量表征系统

联系人: 史伟

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光学波前质量测试系统

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地址: 卫津路校区五教108室超净间

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wMPS室内空间测量定位系统

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联系人: 吴斌

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信号分析仪（动态频谱分析仪）

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联系人: 史伟

地址: 卫津路校区26楼C区213室

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