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仪器详情
磁控溅射台
仪器编号
2014008594
规格
生产厂家
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
型号
JGP-560
制造国家
中国
分类号
放置地点
卫津路校区北洋楼一层
出厂日期
2011-07-02
购置日期
2011-07-02
入网日期
2021-06-05
主要规格及技术指标
1、真空度：压强要小于1E-8托(<1E-8 Torr)2、载物腔 (loadlock)：具有载物腔(loadlock)，用于样品的进出，减少抽真空的时间3、靶：可同时安放至少4个2英寸(2
主要功能及特色
用于真空镀膜
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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