仪器列表
划片机
划片机
仪器编号
2014004888
规格
生产厂家
disico
型号
DAD322
制造国家
日本
分类号
放置地点
卫津路校区北洋科学楼112
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2021-06-05

主要规格及技术指标

最大加工物尺寸:?6英寸可划片范围:160mm×160mm最小步进量:0.0001mm最大旋转角度:320度切割精度能够达到亚百微米量级。

主要功能及特色

切割wafer

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期