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仪器详情
光刻机
仪器编号
2014004891
规格
生产厂家
suss
型号
MJB4
制造国家
德国
分类号
放置地点
卫津路校区北洋科学楼112
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2021-06-05
主要规格及技术指标
（1）曝光波长：350-450nm（2） 曝光灯功率：350W（3） 分辨率：优于0.8？m（光刻胶厚度1微米时）（4） 套刻精度：优于0.5？m（5） 曝光光强： 大于40mW/
主要功能及特色
在光刻胶上曝光处所需的pattern
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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