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仪器详情
等离子清洗机
仪器编号
2014004889
规格
生产厂家
Suss
型号
GIGAbatch 310M
制造国家
德国
分类号
放置地点
卫津路校区北洋科学楼112
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2021-06-05
主要规格及技术指标
600W 工作频率：2.45GHz；
主要功能及特色
用等离子轰击方法清洗wafer表面杂志
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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