总体要求:提供标准压痕、划痕、摩擦磨损测试;对微小纳米级区域成像,原位或准原位测试;具体指标:1. 纵向载荷分辨率:<3nN2. 位移分辨率:<0.006nm3. 载荷噪声背景:<3nN
用于表征材料纳米力学性能,如载荷-位移曲线,弹性模量、硬度、蠕变行为,原位成像
无