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环境场发射扫描电镜
环境场发射扫描电镜
仪器编号
22DK001030
规格
生产厂家
型号
Quattro S
制造国家
捷克
分类号
放置地点
58楼ACE区地下一层B121
出厂日期
2023-08-25
购置日期
2022-12-31
入网日期
2024-03-27

主要规格及技术指标

1.二次电子像(SE)分辨率:
(1)高真空模式:30 kV时优于1.0 nm,1 kV时优于3.0 nm;
(2)低真空模式:30 kV时优于1.3 nm,3 kV时优于3.0 nm;
(3)环境真空(ESEM)模式:30 kV时优于1.3 nm;
2.背散射电子像(BSE)分辨率:30 kV时优于2.5 nm;
3.加速电压:0.2 kV-30 kV;
4.放大倍数:6倍-250万倍;
5.电子枪:Schottky肖特基场发射电子枪,束流范围1 pA-200 nA。

主要功能及特色

一、功能
1.可拍摄样品表面形貌的高分辨二次电子像;
2.可拍摄具有成分信息的背散射电子像;
3.配备能谱附件,可对样品进行点、线或面的元素与含量分析;
4.可对部分超薄样品进行透射电子观察,从而分析样品的内部结构信息;
5.配备1400℃加热样品台,可实现样品加热实验,在室温到1400℃范围内观察样品;
6.配备冷冻样品台,可实现样品低温实验,在-20℃到50℃范围内观察样品;
7.加热样品和冷冻样品台配合样品仓通气,可实现样品原位变温气氛观察分析;
8.配备荧光探头,可对发光样品进行发光位置和波长分析。
二、特色
1.具有三种真空模式(高真空、低真空、ESEM),可灵活适应各种样品,包括易放气或在高真空环境下不稳定的样品;
2.低真空和ESEM环境扫描电镜功能可对非导电和/或含水样品进行无电荷/无脱水成像和分析;
3.配备65 mm2探头的高速能谱仪。

主要附件及配置

1.1400℃加热样品台
2.冷冻样品台
3.可伸缩定向背散射电子探测器
4.可伸缩扫描透射电子探测器
5.可伸缩阴极荧光探测器
6.65 mm2探头的高速能谱仪

公告名称 公告内容 发布日期