电子探针显微分析仪

材料学院大型仪器管理平台配有JEOL公司最新的JXA-iHP200F型场发射电子探针显微分析仪（EPMA）。该设备通过电子束作用于试样微区上产生二次电子、背散射电子及X射线等信号，通过波长色散X射线谱仪（WDS）对特征X射线进行分光和强度测定，得到微区的元素组成及元素浓度分布。

仪器型号：JXA-iHP200F

实验室地点：31-107

联系电话：15222131955

仪器收费：400 元/h（校内），600 元/h（校外）

主要功能：

1. 金属和非金属材料的化学组成定性和定量点分析

2. 金属和非金属材料的化学组成定性和定量线分析

3. 金属和非金属材料的化学组成定性和定量面分析

4. 金属和非金属材料的痕量元素分析

5. 金属和非金属材料的化学价态分析

6. 金属和非金属材料的高分辨二次电子像、背散射电子像、相分析、实时能谱分析、能谱/波谱一体化分析、有标样和无标样定量分析

应用范围：

分析元素范围：5B - 92U

应用领域：

材料科学、微电子学、冶金学、生物化学、地球化学、矿物学、地质年代学等。

技术规格：

空间分辨率：好于0.1 μm；图像放大倍数：×40 ~ ×300,000；加速电压：1 ~ 30 kV（步长：0.1 kV）；束流范围：10^-12 ~ 3×10^-6 A；束斑尺寸：≤ 20 nm（10 kV，10 nA，工作距离11 mm）；分析精度：好于1% （主元素, 含量 >5%）和5%（次要元素，含量 ~1%）

样品要求：

1. 固体

2. 导电（不导电或导电性低的样品可在31-107进行喷碳）

3. 直径5 μm ~ 36 mm，高度 < 20 mm，厚度 > 5 μm

4. 表面平整（块体样品建议进行表面抛光，粉末样品需镶样并进行表面抛光）

                                   电子探针显微分析仪应用实例