【仪器上新】天津大学大型仪器平台电镜中心

Model 695 PIPS II 精密离子减薄仪试运行通知

天津大学大型仪器平台电镜中心Model 695 PIPS II 精密离子减薄仪主要用于对已加工成直径Φ3mm的薄片样品（厚度30-40μm）进行最终减薄，制备具有大面积清洁薄区的高质量透射电镜样品。目前设备已安装调试完毕，现开放试运行，欢迎预约测试！

一、仪器介绍

Model 695 PIPS II 精密离子减薄仪主要应用于半导体、金属、陶瓷、薄膜、合金等多种材料的块体透射电镜样品的制备；配备冷台系统，减少减薄过程中带来的温升效应。

二、基本参数

1. 离子源：氩离子；

2. 离子束能量：0.1-8.0 keV连续可调；

3. 离子束流密度峰值：可达10mA/cm²；

4. 减薄角度范围：+10°到-10°，每只离子枪可独立调节；

5. 样品台旋转：样品台可以旋转，转速1-6 rpm可调；

6. 样品台可以实现X和Y方向的移动；

7.  真空度：5×10^-6 Torr；

8. 样品更换：样品更换时间1min，无需破减薄室真空；

9. 控制部分：彩色触摸屏，操作简单，能够完全控制所有参数，支持减薄程序的设定和储存；

10. 配备液氮冷台，可持续使用6-8小时。

三、功能特色

1. 可进行块体材料透射电镜样品的常规平面样品和截面样品制备；

2. 离子束能量0.1-8.0 keV可调，低能范围的性能可减少样品表面因离子束轰击而产生的非晶区域；

3. 可用于聚焦离子束（FIB）样品的表面清扫；

4. 配备的液氮冷台可消除热效应所产生的样品损伤，适合对温度敏感性样品的减薄，从而还原样品的真实结构以供透射电镜（TEM）分析研究；

5. 配备可调节样品台可对减薄样品进行精确定位；

6. 触摸操作屏幕简单易用，提高对减薄区域的精度控制和减薄过程的可重复性。

四、样品要求

1. 样品要求：大小Φ3mm，厚度30-40μm；

2. 样品在制备过程中不会发生组织结构变化；

3. 本设备不接受磁性样品。

五、培训及认证方式

1. 考虑到设备操作简单，有需求的同学可提前联系老师做样前培训，即可成为设备的普通用户，该培训无需提交申请书；

2. 有特殊功能需求的用户，可培训成为高阶用户，并承担设备的日常清理和维护工作，高阶用户可在非工作时间段预约测试，且享受测试费用优惠政策。

六、收费标准

试运行期间：普通用户80元/小时，高阶用户40元/小时；

正式运行：普通用户100元/小时，高阶用户50元/小时；

本设备接受送样测试：500元/样；

预约请登录http://yiqi.tju.edu.cn（天津大学大型仪器管理平台）。

七、送样要求

1、在“附件”处下载“送样单”并和样品一同放置于样品袋中，送样前请提前跟测试老师沟通测试需求（桑老师）；

2、样品为厚度70-90μm的薄片，面积可至少能制备出一个Φ3mm样品。

八、送样地点及时间

北洋园校区：58教地下一层天大电镜中心  每周一至周五，08:30-16:30

联系人：   魏欣欣 电话：18842546786

                桑聿帅 电话：18222938961