天津大学学科交叉公共技术服务平台电镜中心极高分辨场发射扫描电镜已安装调试完毕，开放试运行，欢迎预约测试！

一、仪器介绍

极高分辨场发射扫描电镜（HITACHI SU8600）是目前世界上分辨率最高的冷场扫描电镜，并且可在低电压下观察电子束易损伤样品及不导电样品，配备100 mm²探头的高速能谱仪，极大缩短能谱采集时间，在5 min之内即可获得高质量的元素分布图像。

二、基本参数

1.二次电子像分辨率：0.6 nm@15 kV，0.7 nm@1 kV；

2.加速电压：0.5 kV-30 kV；

3.放大倍数：20倍-200万倍；

4.电子枪：冷场发射电子源。

三、功能特色

1.可拍摄高分辨二次电子形貌像，是目前世界上分辨率最高的扫描电镜，分辨率可达0.6 nm；

2.可拍摄包含成分信息的背散射电子像，配备UD ExB能量过滤器，SE/BSE信号可按比例混合成像；

3.配备高速能谱仪，可对样品进行点、线或面的元素与含量分析，能谱探头面积为100 mm²，极大缩短能谱采集时间，在5 min之内即可获得高质量的元素分布图像；

4.可在低电压下高放大倍数观察不导电样品；

5.可在超低电压下观察对电子束敏感的易损伤样品。

四、样品要求

本电镜不接受易挥发样品、磁性样品、液态样品及含有液体物质的样品。

五、收费标准

试运行（6月18日至7月17日）：200元/时。

正式运行（7月18日起）：400元/时。

预约请登录http://yiqi.tju.edu.cn（天津大学大型仪器管理平台）。

六、联系方式

联系人：李老师  联系电话：18920908923