天津大学大型仪器平台电子束蒸发镀膜机已安装调试完毕，具备开放共享条件，现面向校内外开放试运行，欢迎预约测试！

1. 仪器介绍

型号：EBPVD450

厂家：超迈光电

该设备为电阻、电子束或电阻电子束复合镀膜系统，真空系统后置，配备分子泵系统，工业级人机界面和西门子PLC系统，可手动和自动模式自由切换，能够满足金属（阻蒸模式）、金属氧化物（电子束模式）、无机非金属氧化物（电子束模式）等材料的蒸发镀膜需求。

1. 技术参数

1. 腔体尺寸为：ø450x600mm；

2. 真空系统：极限真空5X10^-4Pa，

3. 转速3～30rpm变频可调。

4. 最高烘烤温度300℃；

5. 蒸发功率4KW，8V。

2. 样品要求

样品粘贴在直径10cm的圆盘上，尺寸不可超过这个范围。

蒸镀用的源（如金粒等）需自带。

3. 试运行收费标准

校内使用预约：热蒸镀300元/次，电子束蒸镀500元/次（培训后自主操作）。

校外使用预约：热蒸镀600元/次，电子束蒸镀1000元/次。

每次使用时间不超过5小时。

4. 测试地点和时间

天津大学北洋园校区

58楼大型仪器平台A区226室

每周一到周五 8:30~16:30（提前电话联系）

联系人：周定邦   联系电话：13920358220