电子探针显微分析仪

材料学院大型仪器管理平台配有JEOL公司最新的JXA-iHP200F型场发射电子探针显微分析仪（EPMA）。该设备目前已验收，现面向校内外开放，欢迎广大师生预约使用。

EPMA通过检测电子束与样品相互作用产生的二次电子或背散射电子，得到样品的二次电子形貌像或背散射形貌/成分像；同时，EPMA上配备的能谱仪和波谱仪能够对样品进行微区元素成分定性/定量点分析、元素线扫描分析和元素面分布分析。波谱仪具有高的能量分辨率（2~20 eV），可进行痕量元素的分析，探测精度为0.001%。其可测元素范围为铍（₄Be）到铀（₉₂U）。

仪器型号：JXA-iHP200F

实验室地点：31-107

联系电话：15222131955

仪器收费：400 元/h（校内），600 元/h（校外）

主要功能：

1. 金属和非金属材料的化学组成定性和定量点分析

2. 金属和非金属材料的化学组成定性和定量线分析

3. 金属和非金属材料的化学组成定性和定量面分析

4. 金属和非金属材料的高分辨二次电子像、背散射电子像、相分析、实时能谱分析、能谱/波谱一体化分析、有标样和无标样定量分析

应用范围：

分析元素范围：₄Be - ₉₂U

应用领域：

材料科学、微电子学、冶金学、生物化学、地球化学、矿物学、地质年代学等。

技术规格：

空间分辨率：好于0.1 μm；图像放大倍数：×40 ~ ×300,000；加速电压：1 ~ 30 kV（步长：0.1 kV）；束流范围：10^-12 ~ 3×10^-6 A；束斑尺寸：≤ 20 nm（10 kV，10 nA，工作距离11 mm）；分析精度：好于1% （主元素, 含量 >5%）和5%（次要元素，含量 ~1%）

样品要求：

1. 固体

2. 导电（不导电或导电性低的样品可在31-107进行喷碳）

3. 直径5 μm ~ 36 mm，高度 < 20 mm，厚度 > 5 μm

4. 表面平整（块体样品建议进行表面抛光）

5. 对于粉末样品，提前联系测试老师进行沟通制样

                                                                                          电子探针显微分析仪应用实例

 （1）焊接接头析出相测定

                                                                                      Acta Materialia 297 (2025) 121356.

（2）增材制造双相不锈钢的组织测定

                                                                      Journal of Materials Processing Tech. 341 (2025) 118885.

（3）ZrN微球-ZrO₂复合陶瓷成分分析

                                                                         Ceramics International 51 (2025) 26146-26155.