天津大学大型仪器平台电镜中心离子束切割抛光仪已安装调试完毕，开放试运行，欢迎预约测试！

一、仪器介绍

Leica EM TIC 3X 是徕卡（Leica Microsystems）推出的一款高端离子束样品切割 / 抛光系统，其中文名常称“三离子束切割仪”或“三离子束抛光仪”。 它主要用于为扫描电子显微镜 (SEM) 制备截面或平面表面，特别适用于 EBSD 无应力样品的制备。相比传统单离子束或双离子束系统，EM TIC 3X 采用三束离子源设计，具有更高的切割效率、较大的可加工面积以及更高的表面质量稳定性。此外，该仪器可在常温或低温（冷冻）条件下运行，以适应对热敏感样品（如高分子、聚合物、生物材料等）的制样需求。。

二、基本参数

1.离子源：氩离子，离子束能量：1–10 keV（连续可调）；

2.最大样品尺寸：50×50×10 mm；

3.可获得截面尺寸：约 4 mm×1 mm；

4.支持冷冻制冷（-30 ℃至-160 ℃）。

三、功能特色

1. 使用三个宽离子束同时轰击样品，无需样品台旋转即可进行切割 / 抛光。

2. 在典型条件下（例如 Si，10 kV，3.5 mA，离 mask 较近距离）可达到 ~150 µm/h 或更高的移除速率。

3. 可兼容多种样品形状 / 大小：例如 50 × 50 × 10 mm 的块体，或直径可达 ~38 mm 的圆柱样品。

4. 提供多种样品台选型（标准台、多样品台、旋转载物台、冷却台、真空冷冻对接台等）。

5. 样品台可降温至低温状态，并有液氮泵 / 冷冻装置。

6. 触控屏界面，操作直观、带提示信息；可通过 USB 导出 / 保存参数或日志

四、样品要求

本仪器不接受液态样品或含液体成分的样品。对于含有液体的样品，可先通过超临界 CO₂ 干燥处理后，再使用本仪器进行制样。超临界 CO₂ 干燥仪的使用需提前联系本仪器负责人并进行预约。

五、收费标准

平面样品抛光：500元/样品。

截面样品切割：800 元/小时

截面样品切割+冷冻：1000 元/小时

特殊样品，收费另议

预约请登录http://yiqi.tju.edu.cn（天津大学大型仪器管理平台）。

六、联系方式

联系人：桑老师  联系电话：18222938961邮箱：yushuai_sang@tju.edu.cn