天津大学大型仪器平台电镜中心双束电镜(FIB) Helios 5 UX已安装调试完毕，为全面满足校内广大师生的需求，现开放试运行，欢迎预约测试！

一、仪器介绍

Helios 5UX 双束电镜（FIB）具有快速、简单、自动化制备高质量S/TEM样品、自动切片与成像、三维重构、微纳加工等功能，另外该设备配备170 mm²高速能谱仪和高精度、高速率EBSD，可实现快速成分和织构分析。

二、基本参数

1.离子束及辅助气体注入系统

（1）离子源种类：液态Ga离子源；

（2）交叉点分辨率：4.0 nm@30 kV（多边法），2.5 nm@30 kV（选边法）；

（3）加速电压：500 V-30 kV；

（4）配备Pt、C、W三路气体沉积，可在离子束、电子束诱导下进行Pt、C、W等的沉积。

2.电子束系统

（1）电子枪类型：带有单色器的肖特基场发射灯丝；

（2）分辨率：在最佳工作距离：0.6 nm@15 kV，0.7 nm@1 kV；

在束交叉点：0.6 nm@15 kV，1.2 nm@1 kV；

（3）加速电压：350 V-30 kV（连续可调）；

（4）束流强度：1 pA-100 nA。

三、功能特色

1.快速、简单、自动化制备高质量的HR S/TEM样品；

2.自动切片与成像，可进行三维图像重构，配合能谱仪和电子背散射衍射仪进行成分和织构的三维重构；

3.多层纳米结构图形生成及加工功能；可实现复杂结构的精确加工；

4.配备冷冻样品台和冷冻机械手，可实现低温下透射样品的制备；

5.配备样品真空转移装置，可实现双束电镜和手套箱之间的真空转移，避免部分样品因接触空气导致的氧化；

6.多达6个集成化镜筒内及透镜下探测器，提供最完整的样品信息；

7.配备170 mm²高速能谱仪和高精度、高速率的EBSD，可实现快速成分和织构分析。

四、样品要求

1.本电镜不接受磁性、腐蚀性、易挥发性样品；

2.用于TEM制样的样品，通常要求尺寸（长、宽、高）均小于1cm；

3.对于EBSD样品，要求样品表面平整光滑、清洁、无划痕、无残余应力。 

五、收费标准

试运行期间：

TEM常规制样：1250元/样（特殊样品，收费另计），EBSD/TKD/EDS测试：250元/小时。

正式运行：

TEM常规制样：2500元/样（特殊样品，收费另计），EBSD/TKD/EDS测试：500元/小时。

自测用户按照上述收费标准的80%执行。

预约请登录http://yiqi.tju.edu.cn（天津大学大型仪器管理平台）。

六、联系方式

联系人：代艳竹  联系电话：18622020019