两台手套箱通过小过渡仓连接;一台手套箱与镀膜机连接,为双工位,预留圆形石英法兰,另一台手套箱为单工位;两台手套箱分别配有独立净化系统,以保证气氛不被交叉污染;手套箱可保证水、氧指标小于1 ppm。真空
力学测试
无