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仪器详情
轮廓膜厚仪（台阶仪）
仪器编号
2011993848
规格
xy行程100mm*100mm
生产厂家
美国KLA-Tencor公司
型号
Alpha Step D-100
制造国家
美国
分类号
放置地点
卫津路校区第十二教学楼微电子学院电子材料与元器件实验室12-10112-101
出厂日期
2011-11-08
购置日期
2011-11-09
入网日期
2017-09-07
主要规格及技术指标
xy行程100mm*100mm
主要功能及特色
可测量样品粗糙度、波纹度和厚度。可测量各种材料，包括：薄膜、磁盘、半导体晶圆、精密加工和抛光面、微电子陶瓷、平面显示器玻璃、光学表面。
主要附件及配置
高精度隔震平台（防震）
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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