光谱范围245-1000nm,光谱测量间隔≤1nm;45-90度自动变角,角度重复性优于0.01度;100mm X/Y自动平移台,Z轴10mm,样品台手动俯仰调节;300μm微光斑,参数测量范围
可以测量纳米级薄膜的厚度以及光学常数,可以变温测量。
无