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光谱型椭偏仪
光谱型椭偏仪
仪器编号
2015009764
规格
生产厂家
J.A.Wollam
型号
RC2
制造国家
美国
分类号
03040606
放置地点
卫津路校区5-113113
出厂日期
2015-10-15
购置日期
2015-12-11
入网日期
2017-06-05

主要规格及技术指标

光谱范围245-1000nm,光谱测量间隔≤1nm;45-90度自动变角,角度重复性优于0.01度;100mm X/Y自动平移台,Z轴10mm,样品台手动俯仰调节;300μm微光斑,参数测量范围

主要功能及特色

可以测量纳米级薄膜的厚度以及光学常数,可以变温测量。

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期