主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统),自动变压器,冷却循环水系统,能谱仪,计算机,标准工具及附件
冷场发射,减速模式,可选择不同探头、不同模式接收需要的信息
电子枪,检测器,样品仓,X射线能谱