主要参数:*1. 样品台:直径不小于210mm,样品最大厚度不小于15mm;全自动。2. 扫描范围:XY方向不小于90μm×90μm,Z方向不小于10μm,均为闭环扫描.*3.闭环噪声水
布鲁克Dimension icon ScanAsyst智能扫描模式
Nanoscope V控制器、Dimension Stage控制器,E-Box,扫描器、光学辅助系统