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仪器详情
3D光学轮廓仪
仪器编号
2014006069
规格
生产厂家
西班牙Sensofar公司
型号
S neox
制造国家
西班牙
分类号
放置地点
卫津路校区5-103
出厂日期
2015-04-13
购置日期
2015-04-13
入网日期
2015-04-13
主要规格及技术指标
LED照明光源; 可实现共焦和干涉两种测量方式; 测量范围：Z 40mm; 分辨力：Z<1nm；X/Y<0.15μm; Z向扫描带闭环反馈控制;低频振动隔离：0.6Hz; CCD相机分辨率优于136
主要功能及特色
共焦，白光干涉，相移干涉和跨焦测量
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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