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3D光学轮廓仪
3D光学轮廓仪
仪器编号
2014006069
规格
生产厂家
西班牙Sensofar公司
型号
S neox
制造国家
西班牙
分类号
放置地点
卫津路校区5-103
出厂日期
2015-04-13
购置日期
2015-04-13
入网日期
2015-04-13

主要规格及技术指标

LED照明光源; 可实现共焦和干涉两种测量方式; 测量范围:Z 40mm; 分辨力:Z<1nm;X/Y<0.15μm; Z向扫描带闭环反馈控制;低频振动隔离:0.6Hz; CCD相机分辨率优于136

主要功能及特色

共焦,白光干涉,相移干涉和跨焦测量

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期