样品台尺寸210mm,负压吸附;闭环扫描,扫描范围90um*90um*10um,Z向噪声<0.05nm,XY向噪声<0.1nm;热漂移<0.2nm/min;-35~250度变温;包括AFM行业现有全
可实现多种模式扫描成像(Contact,Tapping,Lift,Torsion Resonance,ScanAsyst,Piezo response...);
具备定量力学测试能力(Peakforce,ForceVolume...);
能够用于纳米加工及操纵(NanoMan,Lithography)。
变温台、液相组件、TUNA模块、Signal Access Module II
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