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仪器详情
超高真空对靶磁控溅射镀膜机
仪器编号
20046097
规格
生产厂家
沈阳中科仪技术发展有限责任公司
型号
DPS-Ⅲ型
制造国家
中国
分类号
03060302
放置地点
卫津路校区第26教学楼微纳传感与智能系统实验室26-D-138138 D座138
出厂日期
2012-11-12
购置日期
2012-11-12
入网日期
2012-11-12
主要规格及技术指标
8*10^-6PA
主要功能及特色
主用用于生长纯的金属膜。
主要附件及配置
水冷机
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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