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仪器详情
双面图形转换仪
仪器编号
2012002389
规格
A/B6
生产厂家
Guss Micro Tec Lithographg Gmbh
型号
MA/MB6
制造国家
德国
分类号
放置地点
卫津路校区东阶梯MEMS实验室 MEMS实验室
出厂日期
2012-11-12
购置日期
2012-11-12
入网日期
2012-11-09
主要规格及技术指标
精度1um 光强均匀性〈5% 暴光面积直径100mm
主要功能及特色
硅基材料双面对准功能
主要附件及配置
照度计
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
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