.png){kind=icon}
仪器列表
仪器设备 >
MEMS实验室 >
仪器详情
磁控溅射台
仪器编号
2012002381
规格
生产厂家
Lcug Seui Conductor Equiprent Sevue
型号
SEI
制造国家
美国
分类号
放置地点
卫津路校区东阶梯MEMS实验室 MEMS实验室
出厂日期
2012-11-12
购置日期
2012-11-12
入网日期
2012-11-09
主要规格及技术指标
电阻率〈5e-6OhmXcm 沉积速度〉300nm/min 电阻率〈80e-60hmxcm
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
版权所有 © 天津大学 访问量: 18658559 系统开发商: 天津市基理科技股份有限公司