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化学沉积溅射仪
化学沉积溅射仪
仪器编号
2012002367
规格
3000
生产厂家
Techliulc Eyuipment Techuo:oyy
型号
P5000
制造国家
美国
分类号
放置地点
卫津路校区东阶梯MEMS实验室 MEMS实验室
出厂日期
2012-11-12
购置日期
2012-11-12
入网日期
2012-11-09

主要规格及技术指标

沉积速〉100nm/mim 应力〈500Mpa

主要功能及特色

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期