主要规格及技术指标

1.真空系统：分析腔真空≤5×10-9 mbar；快速进样腔真空≤5×10-8 mbar；
2.半球型电子能量分析器：平均半径150 mm，接收角≥44°，工作距离300–500 μm，能量分辨率10 meV，探测能量范围可达3.5 keV；
3.四级差分抽气系统：一、二级差分抽气之间设阀门，分析室进气时分析器正常工作，最高工作压力25 mbar；
4.近常压灵敏度与能量分辨率：Ag3d5/2峰计数率≥70 kcps（UHV）、≥7 kcps（10 mbar N2）、≥0.5 kcps（25 mbar N2）；能量分辨率FWHM <0.85 eV
5.单色化Al阳极靶微聚焦X射线源，工作范围10-10–25 mbar，光斑尺寸≤200 μm；
6.进气系统：6路近常压进气管路（配质量流量计，自动压力控制1–30 mbar），另配1路蒸汽进气管路（0.5–50 ml/min），配套半导体样品冷却台（样品台最低温度可达-10℃），可使H2O等蒸汽在样品表面冷凝形成固液界面；
7.配150 W红外激光加热器（25 mbar N2条件下样品温度最高1000 ℃）及液氮冷却（样品最低150 K）；
8.荷电中和枪用于真空条件下的荷电中和；低能离子源用于真空条件下的离子刻蚀；
9.原位电化学反应池：用于原位条件下的三电极电化学反应固液界界面原位监测；
10.产物气体分析质谱仪，质量范围1–200 amu，用于检漏与残余气体检测；
11.预留2个电气接触接口，可用于固态电化学原位测试。

主要功能及特色

在超高真空与近常压（最高25 mbar）之间原位切换，实现催化剂、电极材料在接近真实反应条件下的表面化学态表征。单色化Al靶微聚焦光源配合半球型电子能量分析器与四级差分抽气，可在10-10–25 mbar宽压力区间连续工作；四轴全自动样品架集成150 W红外激光加热（最高1000 ℃）与液氮冷却（最低150 K），可在同一测点完成升温、降温、进气、抽气的连续实验。配6路气体与1路蒸汽进气管路、原位电化学反应池及在线质谱，可对气固、气液固及电化学界面反应进行实时跟踪，避免样品转移造成的表面污染与状态失真，显著提高实验效率并降低数据不确定性。适用于催化、能源材料、半导体、腐蚀与环境科学等领域。

主要附件及配置

单色化Al阳极靶微聚焦X射线光源、半球型电子能量分析器、四轴全自动样品架（红外激光加热器、液氮冷却）、荷电中和枪、低能离子源、6路近常压进气气路与1路蒸汽进气管路（含半导体样品冷却台）、原位电化学反应池、产物气体分析质谱仪。