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有机材料高真空蒸镀设备
仪器编号
2026005159
规格
生产厂家
芯纳（扬州）微电子设备有限公司
型号
EC400-SF-CTM-TJ
制造国家
中国
分类号
放置地点
滨海研究院5号楼
出厂日期
2026-04-22
购置日期
2026-07-09
入网日期
2026-09-17
主要规格及技术指标
1.蒸镀真空腔体：腔体尺寸：约（W）400mm×（D）415mm×（H）450mm（尺寸以实际设计为主）；腔体材质：SUS304不锈钢；前侧滑腔门×1，后开门式腔门×1；4英寸真空观察窗×1；腔体内衬
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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