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仪器详情
智能传感器薄膜图形化系统
仪器编号
2026005288
规格
生产厂家
北京芯微诺达科技有限公司
型号
Litho-100
制造国家
中国
分类号
放置地点
第十七教学楼
出厂日期
2026-04-17
购置日期
2026-07-14
入网日期
2026-09-17
主要规格及技术指标
光刻设备：分辨力1μm，不均匀性≤3%，曝光强度≥30mW/cm2；匀胶设备：转速范围覆盖200-10000RPM，支持4英寸晶圆及以下碎片；显影设备：最大转速不小于5000RPM，2路以上工
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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