亚纳秒脉冲输出模块—工作波长为266nm,输出能量为10μJ@ 266nm,重复频率25kHz,内外触发分档可调,脉宽≤2ns@ 25kHz,光束质量为≤1.3,光斑圆度:≥85%,功率稳定性:≤1%
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