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仪器详情
异质异构膜基材料应力的原位检测仪器
仪器编号
2026006181
规格
生产厂家
天津大学
型号
制造国家
中国
分类号
放置地点
36教109
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2026-08-28
主要规格及技术指标
应力灵敏度：对金属氧化物陶瓷，在浅表区域(<5μm)≤10MPa，内部区域(≥5μm)≤100MPa；对半导体，在浅表区域(<5μm)≤10MPa，内部区域(≥5μm)≤10MPa； 面内分辨率：在浅表区域(<5μm)≤2μm，内部区域(≥5μm)为2-100μm； 测量范围（面内）：≥50×50mm2； 测量范围（深度）：对金属氧化物陶瓷≥300μm，对半导体≥5mm； 测试时间：对金属氧化物陶瓷，单点测量≤1min，解耦测量≤5min；对半导体，单点测量≤0.5min，解耦测量≤3min；原位偏差：x/y/z轴移动偏差≤2μm，z轴旋转偏差≤0.01°。
主要功能及特色
太赫兹时域光谱分析、拉曼光谱分析、荧光光谱分析、X射线衍射分析；对异质膜基结构进行内部应力和相结构表征，样品包含陶瓷材料，半导体材料等
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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