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仪器详情
电子束镀蒸发
仪器编号
2026004028
规格
生产厂家
光拓
型号
GT400-E1
制造国家
中国
分类号
放置地点
北洋园校区第51教学楼115
出厂日期
2026-01-15
购置日期
2026-06-12
入网日期
2026-07-02
主要规格及技术指标
高真空镀膜系统由底盘结构，基片架装置，蒸发源，控制软件，膜厚控制系统，真空室，真空系统等组成。1.底盘结构：1.1采用焊接式框架，外观要求氧化处理或喷漆，配可以打开的磁吸柜门，电气控制集成到底
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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