1.真空腔室:净空间尺寸不小于400×400×500mm,前后门观察窗玻璃尺寸不小于Φ100mm,配一套方便拆卸的防污隔板;腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用304不锈钢材质;腔体需预留有不少于4个未
无