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仪器详情
超高真空激光脉冲沉积系统
仪器编号
2026003523
规格
生产厂家
沈阳科仪
型号
LMBE450
制造国家
中国
分类号
放置地点
北洋园校区第49教学楼49-103
出厂日期
2026-04-06
购置日期
2026-05-31
入网日期
2026-07-02
主要规格及技术指标
设备由真空镀膜室和激光器组成。镀膜室的极限真空优于<5E-10 mbar，配备4个2英寸旋转靶，配备晶振薄厚仪。薄膜沉积温度：室温 - 800 摄氏度。靶材与样品间距可调，范围：30-90 mm
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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