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仪器详情
原位超精细纳米探针测量系统
仪器编号
2026003522
规格
生产厂家
泽攸
型号
PicoFemto In-Situ Solutions
制造国家
中国
分类号
放置地点
卫津路校区第十七教学楼421
出厂日期
2025-11-28
购置日期
2026-05-29
入网日期
2026-07-02
主要规格及技术指标
支持SEM环境下的纳米压痕、微拉伸及动态电学性能同步测试。探针台移动步进精度20nm，XYZ轴行程10mm，最大运动速度3mm/s，扫描电镜放大倍数25至360000倍，加速电压3kV至20kV，
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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