.png){kind=icon}
仪器列表
仪器设备 >
理学院 >
仪器详情
感应耦合等离子体刻蚀机ICP
仪器编号
2026002934
规格
生产厂家
芯微诺达
型号
ICP-S-150
制造国家
中国
分类号
放置地点
北洋园校区第51教学楼114
出厂日期
2026-03-11
购置日期
2026-05-11
入网日期
2026-07-02
主要规格及技术指标
技术规格：(1)样片尺寸：6英寸样品台，兼容6英寸及以下尺寸样品刻蚀；(2)反应腔室：6061铝材一体化加工，表面阳极氧化处理；(3)★腔体尺寸：410mm×410mm×285mm，误差±
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
版权所有 © 天津大学 访问量: 40586513 系统开发商: 天津市基理科技股份有限公司