测试系统具备不低于3个高精度测量单元,电流测量分辨率最高到0.1 fA;测量精度最高到fA量级;具有电容测试模块,频率范围20Hz-2 MHz,偏置电压达±40V;具有1/f噪声测试模块,最高测试频率
无