采用高精度离子枪,束斑尺寸≤1μm,可精确定位制备样品,去除非晶层的同时,不产生任何二次沉积。并且配备二次电子探头,可实现加工的同时进行高分辨观察,具备纳米级分辨率。对于FIB和离子减薄制备后的样品,
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