.png){kind=icon}
仪器列表
仪器设备 >
精密仪器与光电子工程学院 >
仪器详情
智能传感器薄膜综合沉积系统
仪器编号
2026001045
规格
生产厂家
北京芯微诺达科技有限公司
型号
PECVD-100/Sputter-100/EBD-100
制造国家
中国
分类号
放置地点
第十七教学楼
出厂日期
2025-12-05
购置日期
2026-03-06
入网日期
2026-04-08
主要规格及技术指标
PECVD-100/Sputter-100/EBD-100，等离子增强化学气相沉积台：样品台温度室温至400℃，可沉积各类硅基薄膜；磁控溅射台：2/3英寸圆形靶4个，2路以上进气，2套射频电源，2
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
版权所有 © 天津大学 访问量: 37367774 系统开发商: 天津市基理科技股份有限公司