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仪器详情
智能传感器薄膜物理和化学刻蚀系统
仪器编号
2026001058
规格
生产厂家
北京芯微诺达科技有限公司
型号
RIE-100/ICP-100/Wet-100
制造国家
中国
分类号
放置地点
第十七教学楼
出厂日期
2025-12-05
购置日期
2026-03-06
入网日期
2026-04-08
主要规格及技术指标
RIE-100/ICP-100/NXXD-4SH-02R，反应离子刻蚀：样品尺寸4英寸及以下，不均匀性≤5%，可刻蚀硅基和有机材料；感应耦合等离子体刻蚀：样品尺寸4英寸及以下，6路工艺气体，可刻蚀
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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