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原子层沉积系统
仪器编号
2026001364
规格
生产厂家
上海派拉纶生物技术股份有限公司
型号
PAL-A100-LT
制造国家
中国
分类号
放置地点
第49教学楼
出厂日期
2025-11-15
购置日期
2026-03-24
入网日期
2026-04-08
主要规格及技术指标
（1）低温前驱气体数量：2路。（2）高温前驱气体数量：2路。（3）载气数量：2路。（4）反应气体数量：1路。（5）样品尺寸：4英寸。（6）沉积温度：室温 - 400摄氏度。
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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